회원사 소식
에프에스티삼성전자에 극자외선 인프라 장비 공급
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- 2026-01-23
중견련 회원사 '에프에스티'가 22일 삼성전자 미국 테일러 파운드리 양산라인에 극자외선(EUV) 펠리클 인프라 장비를 공급하며 차세대 EUV 펠리클 시장의 핵심 공급사로 부상하고 있습니다.
CTT는 보고서를 통해 삼성전자가 에프에스티에 2세대 EUV 펠리클 인프라 장비에 대한 발주(PO)를 진행한 것으로 파악되며, CNT(Carbon Nanotube) 기반 EUV 펠리클의 양산 도입이 가시화되고 있다고 분석했습니다. 발주 장비는 EUV 펠리클 자동 탈·부착 장비(EPMD)와 검사 장비(EPIS)로, 미국 테일러 팹 양산라인에 직접 투입될 가능성이 큰 것으로 평가됩니다.
CNT EUV 펠리클은 기존 1세대 대비 투과율과 내구성이 크게 개선돼 High-NA EUV 기반 2나노 이하 선단 공정의 핵심 소재로 주목받고 있으며, 에프에스티는 관련 핵심 공정에서 독점적 경쟁력을 확보한 것으로 분석됐습니다.
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