중견련 회원사 '켐트로닉스'가 반도체 핵심 소재 5N(99.999%) 초고순도 PGMEA의 양산 설비를 완공하고 글로벌 반도체업체에 본격 공급을 개시했다고 23일 밝혔다.

이번에 양산된 PGMEA는 EUV·ArF용 세정공정에 쓰이는 씬너(Thinner)의 주원료로, 포토레지스트(PR), BARC, SOH 공정 등 노광·세정 단계에서 활용되는 핵심 소재다. 금속성 불순물을 10PPT 이하로 최소화하고, 유해물질인 베타아이소머 함량을 1PPM 이하로 낮추는 등 일본·중국산 대비 품질 경쟁력을 확보했다.

'켐트로닉스'는 약 600억 원을 투자해 자사의 PGMEA 브랜드인 'purisol PMA' 정제 및 합성 설비를 구축했다. 국산화 4년 만에 글로벌 반도체업체 3곳 이상과 공급 계약을 체결했으며, 연간 2만5000t 규모의 생산능력을 5만t까지 확대하는 방안도 검토 중이다.

김응수 '켐트로닉스' 대표는 "이번 'purisol PMA' 양산은 기획·개발·제조·품질관리 역량이 모두 결집된 성과"라며 "최고 품질의 제품을 안정적으로 공급해 업계 표준으로 자리매김하겠다"고 말했다.

'켐트로닉스'는 다양한 포토·식각 소재를 개발·양산해 반도체 소재 전문기업으로 입지를 강화하고 있으며, 유리기판 TGV 공정·웨이퍼 리클레임 등 반도체 부품 사업도 확대해 종합 반도체 기업으로 성장해 나간다는 계획이다.

관련 기사를 참조하시길 바랍니다.

http://www.hankyung.com/article/202509230869i​